Ota yhteyttä

Haluatko lisätietoa tyhjiöantureista ja -mittareista?

Kim Bergström

+358-9-774 55 312

kim.bergstrom@vacuumservice.fi

 

Janne Linnasaari

+358-9-774 55 315

janne.linnasaari@vacuumservice.fi

 
 

Tyhjiöanturit ja -mittarit

Me tiedämme, mikä anturi-, mittari- ja näyttölaiteyhdistelmä sopii parhaiten juuri sinun käyttötarpeeseesi.

Olipa tarpeesi tyhjiömittaamisen alueella millainen tahansa, löydät meiltä juuri oikean anturin, mittarin ja näyttölaitteen. Valikoimastamme löytyy laaja kirjo eri vaihtoehtoja ja meidän tehtävämme on löytää juuri oikeat tuotteet ja ratkaisut sinun käyttötarkoitukseesi.

Tyhjiöstä riippuen käytetään erilaisia mittareita, sillä eri tyhjiötasoilla käytetään erilaista tekniikkaa sen mittaamiseen. Tyhjiöjärjestelmän toiminnan kannalta on siis olennaisen tärkeää tietää käytössä oleva tyhjiötaso.

Edustamme Pfeifferin ja MKS:n tuotteita, joten valikoimastamme löytyy laaja kattaus tyhjiöantureita ja -mittareita normaali-ilmanpaineesta UHV-tyhjiöjärjestelmiin eli avaruustyhjiöön saakka – tai jopa hieman pidemmälle. Antureissamme käytetään useita eri mittaustekniikoita: Piezo, Pirani, kylmäkatodi, kuumakatodi ja kapasitiiviset anturit. Ja luonnollisesti meiltä löytyvät myös tyhjiömittareissa tarvittavat kontrolleriyksiköt.

Vacuumservice toimittaa vain laatua, joten edustamme tyhjiöantureissa ja -mittareissakin parhaita tuotteita. MKS on maailman ehdoton markkinajohtaja mittareissa ja heidän tuotevalikoimansa on todella laaja. Pfeifferin mittarit ovat puolestaan Pirani-antureiden ehdotonta kärkikastia.

Tiesitkö?

Tyhjiömittareilla mitataan painetta, joka on ympäristön normaalipainetta alempi. Paine = voima pinta-alayksikköä kohti. Kun paine laskee, voima pienenee vastaavassa suhteessa. Eri mittausalueille on kehitetty erilaisia mittareita käyttötarpeen ja käyttöolosuhteiden mukaan. Pirani kehitti lämmönjohtavuuteen perustuvan painemittarin vuonna 1906, Buckley kuumakatodimittarin vuonna 1916 ja Penning kylmäkatodimittarin vuonna 1937.

 Pirani tyhjiöpaineanturi

MKS 345 Standard Pirani -painetyhjiöanturi on termiseen johtavuuteen perustuva tyhjiöanturi, joka mittaa paineen määrittelemällä lämmitetyn johdon lämpöhävikin. Tämä paineanturi on lujatekoinen ja käyttövarma tyhjiöanturi, joka mittaa tyhjiön nopeasti ja luotettavasti. Lämmönkompensointipiiri tekee anturista erittäin luotettavan koko mittausasteikolla.
 

 Piezo -anturi

Piezo -anturi hyödyntää teknologiaa jossa paineen vaikutus mittauselementtiin muunnetaan sähköiseksi mittausarvoksi, joka anturin sisäisellä elektronikalla muunnetaan halutuksi ulostulosignaaliksi ohjausjärjestelmiä varten.

MKS 902B-piezoanturissa MEMS-teknologiaan perustuva piezoanturin paineenmittausteknologia yhdistyy metallitiivistettyyn, ruostumattomasta teräksestä valmistettuun 316-kalvoon ja integroituun elektroniikkaan. 902B mahdollistaa taloudelliset ja absoluuttiset mittaukset kaasutyypistä riippumatta.

Kylmäkatodi

Penning -tyypin kylmäkatodi -ionisointimittareissa käytetään katodilevyjä (maapotentiaalilla) ja yleensä rengasmaista anodia, johon johdetaan usean tuhannen voltin jännite. Kylmäemission ansiosta tyhjiössä ei ole lämmönlähteitä, jollaisia käytetään esimerkiksi kuumakatodi -ionisointimittareissa. Kylmäkatodi -ionisointimittareiden ulkopinnassa on kaksi magneettia ja rautatappi. Näitä komponentteja tarvitaan sytytykseen sekä sähkön johtumisen varmistamiseen kaasussa. Magneettikenttän aiheuttamat häiriöt on huomioitava kylmäkatodi -ionisointimittareita valittaessa esimerkiksi silloin, kun niitä käytetään elektronisäteitä käsittävissä kokoonpanoissa.

Kuumakatodi

Kuumalanka-ionisointimittari, joka tunnetaan myös nimellä kuumalankamittari tai kuumakatodimittari, on yleisimmin käytetty matalan paineen (tyhjiö) mittauslaite 10−3 - 10−10 mittauksissa.

 Kapasitiiviset anturit

MKS tarjoaa luokkansa parasta paineenmittausta ja- ohjausta Baratronin® kapasitanssimanometreilla, dual range -manometreilla, paine-eroantureilla ja digitaalisilla paineen mittaamiseen tarkoitetuilla tuotteilla. Vakiotarjontaamme kuuluvat Inconelin® kokonaan hitsatut kapasitiiviset anturit, jotka tarjoavat maksimaalisen suojan syövyttäviltä prosessointikaasuilta ja varmistavat myös turvallisen käyttöympäristön. Käyttökohtaiset paineensäätötuotteet, prosessimanometrit ja paineanturit ovat kestäviä ja käyttövarmoja, mikä puolestaan takaa korkean suoritustehon, pitkän käyttöiän sekä tuottavuuden.

 Painekytkimet

MKS Instrumentsin 51B  painekytkin tarjoaa perusteellisen ja luotettavan suojan tyhjiö- ja tyhjiö/paineprosesseihin. Kytkimet on suunniteltu erityisesti sellaisia kokoonpanoja varten, joissa tasavirran signaalinantoa ei tarvita – nämä kytkimet toimivat relelähtöinä, jotka voidaan helposti yhdistää hälytyksiin, venttiilin käynnistimiin, tietokoneisiin, prosessin ohjaukseen, kuorman lukitukseen ja muihin suojalaitteisiin.

Mittarit ja näyttölaitteet

MKS Instruments »

Pfeiffer Vacuum »