Edwards Vacuum tyhjiöpumput - SV Vacuumservice

Vacuumservice tarjoaa laajan valikoiman suorituskykyisiä tyhjiöpumppuja, jotka on suunnitellut ja valmistanut Edwards – maailman johtava tyhjiöteknologian ja päästöjenhallintaratkaisujen asiantuntija. Tyhjiöpumput poistavat kaasuja suljetuista tiloista ja muodostavat siten jokaisen tyhjiöjärjestelmän sydämen.

Edwardsin pumput ovat käytössä kriittisissä sovelluksissa eri puolilla maailmaa, aina energiantuotannosta terästeollisuuteen – Edwardsin tyhjiöteknologia palvelee mm. elektroniikka-, kemian-, lääke-, pinnoitus- ja tutkimusteollisuutta. Kaikki pumput on suunniteltu pitkäikäisiksi, helposti huollettaviksi ja mahdollisimman ympäristöystävällisiksi.

Edwards tarjoaa täydellisen valikoiman kuivapumppuja, öljylamellipumppuja, turbopumppuja ja ruuvipumppuja sekä muita täydentäviä pumppuratkaisuja laboratorioihin ja teollisuuden vaativiin prosesseihin. Ratkaisut ovat hiljaisia, energiatehokkaita ja luotettavia – suunniteltu jatkuvaan käyttöön ja puhtaaseen tyhjiöön.

Tutustu valikoimaamme alla ja ota yhteyttä. Voit lukea lisää myös Edwards verkkosivustolta.

Etsitpä sitten vakiomallia tai täysin räätälöityä ratkaisua, autamme löytämään juuri tarpeisiisi sopivan tyhjiöteknologian.

Ota yhteyttä

Edwards Kuivapumput laboratorioihin ja teollisuuteen

Edwardsin kuivapumput tarjoavat öljyttömän, hiljaisen ja energiatehokkaan ratkaisun laboratorio- ja teollisuuskäyttöön. Laaja mallisto kattaa pumppaustehot muutamasta kuutiosta yli 25000 m³/h:iin, joten sopiva vaihtoehto löytyy niin tutkimusympäristöihin kuin raskaisiin prosessisovelluksiin.

Pienet kuivapumput

mXDS-sarja on kompakti ja kevyt (alle 8 kg), helposti siirrettävä pumppu, jossa on 3 m³/h pumppausteho ja erinomainen 0,1 mbar alipaine. Soveltuu mm. turbopumppujen takapumpuksi, kylmäkuivaukseen ja laboratorioihin. Öljytön rakenne ja alhainen melutaso tekevät siitä ympäristöystävällisen ja miellyttävän käyttää.

nXDS-sarja tarjoaa pumppaustehoja 6–20 m³/h. Kaikki mallit ovat hermeettisesti suljettuja ja öljyttömiä. Soveltuvat mm. SEM-sovelluksiin, pinnoitukseen, tislaukseen, kuivaukseen ja helium-vuototestaukseen.

C-versio: kestää korrosoivia kaasuja
R-versio: ilman gas ballast -venttiiliä, kaasunkierrätykseen

XDS-sarja (35–40 m³/h) soveltuu samoihin puhtaisiin sovelluksiin. Laakerit toimivat ilmanpaineessa, mikä pidentää huoltoväliä merkittävästi.

G-versio: ilman gas ballast -venttiiliä

nXRi-sarja (30–120 m³/h) yhdistää korkean suorituskyvyn ja kompaktin koon. Öljytön ja pölytön rakenne takaa puhtaan työympäristön ja alhaiset käyttökustannukset.

Kalvopumput (XDD1 ja D-LAB) ovat öljyttömiä, kemikaaleja kestäviä vaihtoehtoja pieniin tyhjiösovelluksiin, kuten RGA-, massaspektrometria-, tislaus- ja geelikuivausprosesseihin.

Isot (ja SEMI) kuivapumput

iXH-, iXM- ja iXL-sarjat tarjoavat puhdasta ja energiatehokasta tyhjiötä puolijohde- ja pinnoitusprosesseihin.

iXH: 100–5200 m³/h, vaativiin SACVD-, LPCVD-, MOCVD-, ALD- ja EPI-prosesseihin
iXM: 200–3000 m³/h, keskiraskaisiin HDP-CVD-, PECVD- ja Etch- sovelluksiin
iXL: kompaktit, energiapihit mallit (110–930 m³/h) mm. PVD- ja load lock -sovelluksiin

Teollisuuden kuivapumput / GXS, EDS, EXS ja IDX – ruuvimekanismin kuivapumput

GXS-, EDS-, EXS- ja IDX- sarja perustuu kestäväksi todettuun ruuvimekanismiin, joka sietää pölyä ja vesihöyryä. Energiatehokkuus, pitkä huoltoväli ja luotettavuus tekevät sarjasta erinomaisen valinnan pinnoitukseen, metallurgiaan, kuivaukseen ja plasmaprosesseihin.

Pumppaustehot: 160–3450 m³/h
Tehostettavissa Roots/booster-pumpulla

Kemianteollisuuden kuivapumput

EDP- ja CDX-sarjat on suunniteltu kemianteollisuuden ja farmasian vaativiin prosesseihin, kuten tislaukseen, suodatukseen ja kiteytykseen. Öljytön rakenne estää prosessin saastumisen ja mahdollistaa myös ATEX-luokitellut ratkaisut.

EDC Claw -sarja hyödyntää yksivaiheista kynsimekanismia, joka kestää epäpuhtauksia ja korrosoivia kaasuja. Pumpuissa on mahdollisuus kierrosluvun säätöön, mikä tuo merkittäviä energiansäästöjä.

Pumppaustehot: 65–300 m³/h
EDCi Plug & Play -yksiköissä jopa 1200 m³/h

Edwards Öljylamellipumput laboratorioihin ja teollisuuteen

Edwardsin öljylamellipumput tarjoavat luotettavia ratkaisuja laboratorioista teollisuuden prosesseihin – kuten kylmäkuivaukseen, tislaus- ja pinnoitusprosesseihin, tyhjiöuuneihin sekä turbojen esivakuumipumpuiksi.

Hiljaiset ja helppokäyttöiset RV-, E2- ja EM-sarjan pumput ovat saatavilla myös Fomblin-versioina ja ATEX-luokiteltuina, ja niihin löytyy laaja valikoima varaosia ja lisävarusteita.

Pumppujen suorituskykyä voidaan tehostaa Rootspumpulla.

RV- ja E2-sarjat: kompaktit ja monipuoliset pumput laboratorioihin ja analyysilaitteisiin.
Suositeltu öljy: Ultragrade 15–19
EM-sarja: tehokkaat pumput vaativiin teollisiin sovelluksiin.
Suositeltu öljy: Ultragrade 70

Uuden sukupolven ES-sarjan pumput tarjoavat tasaisen tyhjiön ilman painevaihtelua. Integroitu öljysumunsuodatin ja tehokas jäähdytys minimoivat öljynkulutuksen ja maksimoivat käyttöiän. Pumppaustehot 44–700 m³/h, tehostettavissa Rootspumpulla.

Edwards turbopumput – suorituskykyä kaikkiin tarpeisiin

Edwardsin nEXT-sarjan turbopumput tarjoavat laajan valikoiman – malleista nEXT55 aina nEXT1230:een. Monipuoliset ohjausmahdollisuudet ja lisävarusteet tekevät niistä erinomaisen valinnan tutkimus- ja kehityssovelluksiin. Uudistettu roottorirakenne parantaa pumppausnopeutta ja puristussuhdetta, ja hybridilaakerointi (keraaminen + magneettinen) varmistaa luotettavan ja pitkäikäisen käytön. Yhdessä TIC-kontrollerin kanssa järjestelmään voidaan liittää myös takapumppu ja muut laitteet helposti.

STP-sarjan Maglev-turbot on suunniteltu vaativiin ja korrosoiviin prosesseihin. Täysin magneettisesti levitoiva roottori takaa tärinättömän käynnin, joustavan asennuksen eri kulmiin sekä erittäin pitkän, jopa huoltovapaan käyttöiän. Tyypillisiä käyttökohteita ovat mm. analyysi- ja mikroskopialaitteet, UHV-järjestelmät, sputterointi, plasmaetsaus ja erilaiset CVD-prosessit. STP-turbot voivat korvata myös diffuusiopumput, mikä alentaa käyttökustannuksia.

Turboasemat kuten T-Station ja TIC-sarjan asemat tarjoavat valmiit, modulaariset ratkaisut laboratorioihin ja tuotantoympäristöihin. Asemat toimitetaan täysin asennettuina metallijalustoilla, ja ne voidaan varustaa esimerkiksi E2M-, XDD- tai mXDS-takapumpuilla sekä jopa kolmella Edwardsin paineanturilla.

Edwards ruuvipumput

Edwardsin edistykselliset, käyttövalmiit EOSi-sarjan öljyvoidellut ruuvityhjiöpumput (400–1810 m³/h) tuottavat tyhjiön hiljaisesti, luotettavasti ja energiatehokkaasti. Älykkään säätimen ansiosta pumppu ylläpitää haluttua alipainetasoa optimoiden energiankulutusta, mikä tuo merkittäviä säästöjä perinteisiin ratkaisuihin verrattuna. Monipuoliset sovelluskohteet kattavat kaiken keskitetyistä tyhjiö- ja pick & place järjestelmistä erilaisiin pakkaus-, kuivaus-, muovaus- ja pinnoitusprosesseihin.

Täydentävät Edwards pumppuratkaisut

Edwardsin valikoimaa täydentävät erikoispumput, jotka tarjoavat ratkaisuja vaativiin ja erityisiin käyttökohteisiin, joissa tavanomaiset pumput eivät riitä. Nesterengas-, Roots-, ioni-, diffuusio-, kryo- ja kiertomäntäpumput laajentavat tyhjiöteknologian mahdollisuuksia laboratorioista raskaan teollisuuden prosesseihin. Lue lisää eri ratkaisuista alla.

Nesterengaspumput

– varma valinta kosteisiin prosesseihin

Edwardsin nesterengaspumput on suunniteltu vaativiin prosesseihin, joissa öljyvoidellut tai kuivapumput eivät sovellu. Ne käsittelevät tehokkaasti kosteita kaasuja ja nesteitä, ja ovat yleisiä puu-, paperi-, kemian- ja farmasian teollisuudessa sekä tislauksessa, kuivauksessa ja suodatuksessa. Saatavilla myös ATEX-hyväksyttyinä versioina räjähdysvaarallisiin tiloihin.

Roots-pumput

– tehoa ja nopeutta tyhjiöprosesseihin

Roots-pumput, eli boosterit, kasvattavat merkittävästi esipumppujen imutehoa ja lyhentävät pumppausaikaa. Edwards EH -sarjan hydrokineettinen kytkin mahdollistaa pumppujen samanaikaisen käynnistyksen ilmanpaineessa, mikä parantaa prosessin tehokkuutta ja vähentää kuormitusta. Saatavilla myös ATEX-luokiteltuina teollisiin prosesseihin.

Ionipumput

– ultratyhjiön puhtain ratkaisu

Ionipumput käyttävät kaasumolekyylejä sitovaa teknologiaa, jolla saavutetaan ultratyhjiö (UHV) ilman mekaanisia osia. Ne ovat täysin värinättömiä, saasteettomia ja pitkäikäisiä, ja soveltuvat kriittisiin sovelluksiin kuten tutkimukseen ja analytiikkaan. Edwardsin tarjoamat Gamma Vacuum TiTan-, TSP- ja NEG-pumput kattavat laajasti eri tyhjiötasot ja ohjausratkaisut.

Diffuusiopumput

– klassinen ja tehokas tekniikka

Edwardsin pitkä kokemus diffuusiopumpputeknologiasta näkyy kahdessa tuotesarjassa:

HT-sarja – raskaan teollisuuden tarpeisiin, kuten metallurgiaan, tislaukseen ja pinnoitukseen.
Diffstak-sarja – laboratorioiden ja tutkimuslaitosten kompaktimpi ratkaisu.

Molemmat sarjat tarjoavat luotettavaa suorituskykyä ja erinomaista kustannustehokkuutta.

Kiertomäntäpumput

– raskaan teollisuuden työjuhta

Stokes-kiertomäntäpumput ovat tunnettuja pitkästä käyttöiästään ja huippuluokan luotettavuudestaan. Ne kestävät vuosikymmeniä vaativissa sovelluksissa kuten

metallurgiassa,
pinnoituksessa,
kuivauksessa ja
lämpökäsittelyissä.

Pumput soveltuvat erinomaisesti ympäristöihin, joissa vaaditaan suurta imutehoa ja mekaanista kestävyyttä.

CTI-Cryogenics kryopumput ja -kompressorit

– kryoteknologiaa ultratyhjiön hallintaan

CTI-Cryogenics -kryopumput ja -kompressorit tarjoavat poikkeuksellista suorituskykyä ja tehokkuutta ultrakorkean tyhjiön prosesseihin. Edwardsin valmistamat kryogeeniset ratkaisut ovat keskeisiä

puolijohdeteollisuudessa,
tutkimuksessa,
kehitystyössä ja
avaruussimulaatiossa

Ne yhdistävät energiatehokkuuden, pitkän käyttöiän ja huippuluokan puhtauden yhdeksi kokonaisuudeksi.